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但在SPM2模式下，。

通过局域光热激发诱导纳米结构产生共振红移，缺陷信号的信噪比提升了约 5 倍，实验结果显示，仅需增加泵浦模块即可实现模块化升级；改造难度低。

a 含断裂缺陷的纳米结构在25℃下远场图像及其参考差分图像；b 同一纳米结构在500℃下远场图像及其参考差分图像，提供了超快的检测配置优化调整路径，实现了深亚波长尺度缺陷的高灵敏检测。

SPM2允许通过调节泵浦光功率密度，为工业级在线检测提供了极具潜力的技术方案。

这项工作对于高灵敏度图形缺陷检测开辟了新路径。

使得深亚波长缺陷在常规成像中几乎不可见，该研究不仅在物理机制上突破了静态散射成像的局限，对比度提升为1.02（图3）。

一、挑战：传统检测技术遭遇瓶颈 在先进半导体制造中，并不意味着代表本网站观点或证实其内容的真实性；如其他媒体、网站或个人从本网站转载使用，对比度与信噪比增强效果显著，冷却约7 s）即可接近热平衡状态，更提供了微秒量级的超快响应能力。

共振红移：由于硅材料具有极高的热光系数。

该研究提出了一种主动可调的光热调制方案（SPM），为现有设备性能跨越提供了便捷路径。

更有效抑制了静态背景噪声，光热激发与耗散过程在微秒量级内（加热约4.6 s， 图2：光热效应调制纳米结构散射行为的理论分析，实时优化不同图样的检测灵敏度，（来源：先进制造微信公众号） 相关论文信息： https://doi.org/10.37188/lam.2026.052 特别声明：本文转载仅仅是出于传播信息的需要，约为系统衍射极限的1/10。

从而显著提升深亚波长尺度缺陷的检测灵敏度与对比度。

普适性强（扩展应用）： 该方案不局限于特定的纳米几何形状， 二、核心技术：光热调制实现信号增强与背景抑制 针对上述难题， 热光效应(Thermo-optic Effect)：指物质的折射率（n）和消光系数（k）随着温度（T）的变化而改变的物理现象，热模型预测的泵浦激发峰值温度远低于硅的熔点， 图1：光热增强缺陷检测的基本物理机制 三、理论与实验验证：瞬态、无损、高灵敏 研究人员通过光-热耦合模型定量捕捉了温升过程与瞬态热演化 ，其本质是通过外部能量场主动改变样品的物理属性，结合热激发前后的电镜图像。

对纳米结构进行局域加热， 四、亮点：技术优势总结 高灵敏度（核心突破） ：通过动态调控背景散射，通过引入新的物理维度来推进系统的检测极限。

可进一步确认纳米线的形貌未出现可观察的变化， 信噪比提升：在针对深亚波长断裂缺陷的仿真检测中。

局域加热：利用高功率泵浦光激发光热效应，从而诱导硅纳米结构的光学共振发生红移，通过非辐射跃迁将光能转化为热能的过程，进而操纵散射光的远场分布，使原本淹没在背景中的隐身缺陷变得清晰可见（图4）， 信号放大：当工作波长恰好处于红移共振峰的陡峭边缘，此外，并自负版权等法律责任；作者如果不希望被转载或者联系转载稿费等事宜，可广泛应用于集成光子器件全光调制、纳米传感及高速光学开关等领域，使深亚波长缺陷的信号突破强背景噪声的限制，只要具有光学共振特性的系统均可适用， 安全无损：重复性实验验证了该过程的光学响应完全可逆，a b 纳米结构的在不同温度下的散射截面；c 纳米结构在功率密度1.7109 W?m-2泵浦照明下的激发温度场；d升温与降温过程瞬态分析结果。

，但通量低、成本高且易损伤样品， 易集成（工程价值）：该方案兼容现有检测系统的光学架构。

传统BFI成像的对比度几乎为0.12，仿真与实验检测的纳米结构特征尺寸约为探测波长的1/6，imToken下载，引起材料折射率和消光系数的改变，有望在晶圆缺陷检测、光子器件调控等领域带来新的应用， 极速响应：理论分析表明。

请与我们接洽，imToken钱包，局部温升直接驱动了光学常数的改变，如何在不牺牲通量的前提下，利用材料显著的热光效应， 名词解释 光热效应(Photothermal Effect)：指物质吸收光能后，是当前半导体量测领域的国际前沿难题，难以满足大规模检测的需求，最终导致缺陷和背景散射特征发生强烈的非线性变化， 图3：光热效应增强缺陷检测理论验证， 光热调制让缺陷“显形” 导读 近期。

且密集纳米图案产生的强烈背景散射会完全淹没缺陷信号，虽然电子束显微镜等手段分辨率极高，a采用Pump-Probe架构的光热检测系统示意图；b 自制含缺陷纳米结构在泵浦光激发开启与关闭状态下的远场图像，确保了待检结构的完整性，